主要用途和适用范围： CVI-1200系统由高温管式炉，真空压强控制系统，多通道高精度数字质量流量控制系统，过压保护及冷凝等部分组成，可实现真空达0.1mbar混合气体化学气相沉积和扩散试验。 | |
主要技术参数： | |
SGL-1200L真空管式炉 | 双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 加热元件采用高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2，经久耐用，最高温度可达1200℃ |
机器电源 | AC220V，50/60Hz；额定功率4kw |
炉管 | 高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小，能承受骤冷骤热的温度变化； 尺寸：Φ80*/1000mm 刚玉支撑架，有效保证料件处于温区中心 |
法兰及支撑 | SUS304不锈钢快速水冷法兰，长期水冷无腐蚀 一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合，4个密封硅胶圈等 |
加热系统 | 加热元件：0Cr27Al7Mo2 加热区长度：300mm 恒温区长度：150mm 工作温度：≤1150℃ 升温速率：≤10℃/min |
温控系统 | 温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能 30段升降温程序 测温元件：N型热电偶 恒温精度：±1℃ 超温、断偶故障警报及断电保护 |
HQZ-Ⅳ 混气系统 | 高精度质量流量计通过数据接口连接电脑，配置App实时人机交互界面 四通道质量流量控制，可同时通入四种不同气体 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 流量规格：0~30SLM 控制精度：±1.0％F.S |
真空系统 | 采用德国vacuubrand MV2NT VARIO四级隔膜泵，无极调速，实现负压的精准控制 极限真空度可达0.1mbar 可长时间连续工作，无须担心泵因过热保护而中止实验 采用电容式陶瓷隔膜真空规+控制器，操作简单方便 配置气体尾气处理系统 |
冷凝系统 | 采用低温恒温槽，最低温度可达-20℃ 内置不锈钢真空冷凝灌，采用KF接头，清理收集方便 槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验 |
