石墨烯专用生长炉由滑动开启式真空管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成。通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。 | |
主要用途和适用范围： 用于石墨烯生长、研发的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。 | |
技术参数： | |
炉体结构 | 双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温； 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 炉子底部装有一对滑轨，移动平稳 炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却 支撑两端安装油压缓冲器 炉盖可开启，可以实时观察加热的物料 |
电源 | 电压：AC220V 50/60Hz；功率：4kw |
炉管 | 高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小 尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm |
法兰及支撑 | SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空 一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合 |
加热系统 | 加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用 加热区长度：410mm 恒温区长度：200mm 工作温度：≤1150℃ 最高温度：1200℃ 升温速率：10℃/min |
温控系统 | 温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能 30段升降温程序 测温元件：N型热电偶 恒温精度：±1℃ |
混气系统 | 三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格：0~1SLM 流量精度：±0.5% |
真空系统 | 采用双极旋片真空泵，真空度可达5x10-1 Torr 数显式真空压力表 可选高真空系统及真空计，压力控制系统等 |
标准配置 | 主机1台，密封法兰1套，“O”型圈4个，石英管1根，管堵4个，坩埚钩1把， 说明书、合格证、保修卡各1份 |
可选配件 | 混气系统,中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制App，无纸记录仪，氧含量分析仪等。 |
