混配气系统是由单路或多路质量流量计控制、混合连续供气，实现了气体的质量流量精密测量和控制；结合我司各种规格型号的管式炉、CVD系统及退火炉等对材料、气体流量的精确测量和控制，应用性强；具有混气均匀，控制精度高，数显直观，操作灵敏等优点。 | |
主要功能和特点： 1、质量流量计、流量显示仪分体式连接，便于操作及使用； 2、控制精度高，响应快，极低的零漂及温漂，良好的兼容性； 3、系统配有混气罐，可单路或多路配合进气； 4、每条气体管路均配有安全截止阀，确保系统的安全可靠； 5、流量控制器的规格型号可根据要求定制； 6、采用世伟洛克卡套接头连接，保证良好的密封性； 7、整体式炉架结构，搭配性能强，可放置我司各种规格型号的管式炉等； 8、可通过App支撑人机交互界面，操作简单方便； 9、预留真空系统位置，可选不同真空系统，组合搭配方便快捷。 | |
主要用途和适用范围： 用于高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验等精密气体的流量控制。 | |
注意：严禁氢气和氧气同时供气，保证安全 | |
技术参数： | |
产品型号 | HQ-Z（通过欧盟CE认证，证书编号：4635230915/4636230915） |
炉体结构 | 双层炉架结构，预留真空系统，组合性强 |
控制方式 | 质量流量计配合流量显示仪 |
流量规格 | 0－500SCCM/0－1SLM（可根据客户需要配置） |
线性 | ±0.2%F.S. |
准确度 | ±1.5%F.S. |
重复精度 | ±1.5%F.S. |
响应时间 | ≤8sec |
耐压 | 3MPa |
气路通道 | 多通道（根据客户需求） |
混气罐 | SUS316不锈钢，尺寸：Φ100*200mm |
阀 门 | SUS316不锈钢卡套针阀 |
管 道 | Φ6mm无缝钢管管 |
接 口 | SwagelokΦ6mm |
尺寸和重量 | 设备：530*1200*850mm （深*宽*高）；净重 kg |
标准配置 | 主机1台，说明书、合格证、保修卡各1份 |
